如图，在直三棱柱ABC-A₁B₁C₁中，AC=BC=AA₁=2， ∠ACB=90°，D、E分别为AC、AA₁的中点.点F为棱AB上的点.
(Ⅰ)当点F为AB的中点时.
(1)求证：EF⊥AC₁；
(2)求点B₁到平面DEF的距离.
(Ⅱ)若二面角A-DF-E的大小为的值.