已知数列$\left\{a_n\right\}$满足:$a_1\in N^{*},a_1\le 36$,且$a_{n+1}=\left\{\begin{array}{ll}2a_n& a_n⩽18\\ 2a_n-36& a_n>18\end{array}\right.$.记集合$M=\left\{\overline{)a_n}n\in N^{*}\right\}$．
（Ⅰ）若$a_1=6$,写出集合$M$的所有元素；
（Ⅱ）若集合$M$存在一个元素是3的倍数,证明:$M$的所有元素都是3的倍数；
（Ⅲ）求集合$M$的元素个数的最大值．