(5分) “廉江陶瓷”逐渐成为一张靓丽的名片，深受顾客欢迎。陶瓷工业的原料石英沙的主要成分为二氧化硅。硅是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。生产高纯硅的工业流程示意图如下：

（1）粗硅是含少量杂质的硅，石英沙与焦炭反应会生成一种无色无味有毒气体，该反应的化学方程式为                                                 ，反应的基本类型是                   。
（2）整个制备过程必须达到无水无氧，若在H₂还原SiHCl₃过程中混入O₂，可能引起的后果是                                                  。
（3）为了达到绿色化学和节约资源的目的，物质A需要循环使用，A的化学式是             。