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  • 更新 2022-09-04
  • 科目 化学
  • 题型 解答题
  • 难度 中等
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制造芯片的基材主要是高纯硅。如图是制备高纯硅的一种工艺流程:

回答下列问题:

(1)反应Ⅰ的化学方程式是  

(2)过滤所得粗硅应充分洗涤,以除去表面可能吸附的HCl和  (填化学式)。

(3)反应Ⅱ的基本类型属于  ;反应Ⅱ要在无氧气环境中进行,原因是  (答出一种即可)。

(4)上述生产流程中,可以循环利用的物质是  (填化学式)。

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制造芯片的基材主要是高纯硅。如图是制备高纯硅的一种工艺流程: