氮化硅(Si₃N₄)是一种非氧化物高温陶瓷结构材料。粉末状的Si₃N₄可以由SiCl₄的蒸气和NH₃的混合物反应制取。粉末状Si₃N₄对空气和水都不稳定。但是，将粉末状的Si₃N₄和适量的MgO在230×1.01×10⁵Pa和185℃的密闭容器中加热处理，可以得到表面结构十分紧密、对空气和水都相当稳定的固体高温结构材料。
(1)写出由SiCl₄和NH₃制备Si₃N₄的化学方程式：_________________________________。
(2)分别写出粉末状Si₃N₄和H₂O及O₂反应的化学方程式：____________________________。
(3)为什么结构紧密的固体Si₃N₄不再受H₂O和O₂的侵蚀？
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