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  • 更新 2022-09-03
  • 科目 化学
  • 题型 填空题
  • 难度 中等
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多晶硅生产工艺流程如下:

(1)粗硅粉碎的目的是   。分离SiHCl3 (l)和SiCl4(l)的方法为   
(2)900℃以上, H2与SiHCl3发生如下反应:SiHCl3 (g)+ H2 (g)Si (s) + 3HCl (g)    ΔH >0,其平衡常数表达式为K =     。为提高还原时SiHCl3的转化率,可采取的措施有   
(3)该流程中可以循环使用的物质是   
(4)SiCl4与上述流程中的单质发生化合反应,可以制得SiHCl3,其化学方程式为   

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多晶硅生产工艺流程如下:(1)粗硅粉碎的目的是。分离SiHC