太阳能光伏发电”能有效推行“低碳经济”的发展，其最关键的材料是高纯硅（Si）。三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产流程示意图如下：

下列说法正确的是

A．三氯甲硅烷（SiHCl3）属于有机物

B．上述流程中可循环使用的物质是H2、HCl

C．“精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物成分的密度不同

D．从粗硅到SiHCl3（粗）的化学反应方程式为：Si + HCl SiHCl3 + H2