氮化硅是一种超硬物质,抗腐蚀能力强,还能抗冷热冲击。工业上可用高纯硅与纯氮气在高温下反应制取。(1)根据氮化硅的性质,推测其用途是____________(填序号)。
(2)根据氮和硅在周期表中的位置,写出氮化硅的化学式:____________。(3)氮化硅可被氢氟酸腐蚀,生成四氟化硅和氨。试写出该反应的化学方程式:__________________________________________________。