“太阳能光伏发电”能有效推进“碳中和”，发展“低碳经济”，其关键的材料是高纯硅。如图是高纯硅的简易生产流程。

请回答：

（1）石英砂的主要成分是 　   　。四氯化硅（SiCl₄）中硅元素的化合价为 　 　。

（2）“精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物各成分的 　   　不同，将物质分离出来。

（3）上述流程中可循环使用的物质是 　 　。

（4）流程⑤中发生反应的化学方程式为 　     　。