目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法,其化学反应原理为:
①SiO2+2CSi+2X ②Si+3HClHSiCl3+H2 ③HSiCl3+H2Si+3HCl
(1)反应①中X的化学式为 。
(2)三氯硅烷(HSiCl3)中硅元素的化合价为 。
目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法,其化学反应原理为:
①SiO2+2CSi+2X ②Si+3HClHSiCl3+H2 ③HSiCl3+H2Si+3HCl
(1)反应①中X的化学式为 。
(2)三氯硅烷(HSiCl3)中硅元素的化合价为 。