目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法，其化学反应原

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目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法，其化学反应原理为：

①SiO₂+2CSi+2X ②Si+3HClHSiCl3+H₂③HSiCl₃+H₂Si+3HCl

（1）反应①中X的化学式为　　。

（2）三氯硅烷（HSiCl₃）中硅元素的化合价为　　。

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