晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下:
请回答下列问题:
(1)二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳。该反应的化学方程式为。
(2)蒸馏属于变化(填"物理"或"化学")。
(3)完成由下列纯SiHCl3制取高纯硅的化学方程式:
晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下:
请回答下列问题:
(1)二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳。该反应的化学方程式为。
(2)蒸馏属于变化(填"物理"或"化学")。
(3)完成由下列纯SiHCl3制取高纯硅的化学方程式: