硅（Si）是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。利用石英沙(主要成分为二氧化硅)生产高纯硅的流程示意图如下，整个制备过程必须达到无水、无氧气。下列说法中，不正确的是

A．M的化学式是HCl

B．制备过程无氧气，可能是为防止发生爆炸

C．制备过程无水，可能是防止制备过程中某些物质与水反应

D．为了达到绿色化学和节约资源的目的，可重复利用的物质是H2和HCl