晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下：
①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅；
②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl₃：Si＋3HClSiHCl₃＋H₂；
③SiHCl₃与过量H₂在1000～1100°C反应制得纯硅。
已知SiHCl₃能与H₂O剧烈反应，在空气中易自燃。
请回答下列问题：
(1)第①制备粗硅的化学方程式为__________________________ ____________________________________________________________________________________________________________________。
(2)粗硅与HCl反应完全后，经冷凝得到的SiHCl₃(沸点33.0°C)中含有少量SiCl₄(沸点57.6°C)和HCl(沸点84.7°C)，提纯SiHCl₃的方法为__________________________________。
(3)用SiHCl₃与过量H₂反应制备纯硅的装置如图所示(热源及夹持装置均已略去)：

①装置B中的试剂是________，装置C中的烧瓶需要加热，其目的是__________________。
②装置D中发生反应的化学方程式为__________________________________________________________________________________________________________________________。
③为保证制备纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及______________________________。